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主要營業項目

濕製程設備 (Wet Bench) / RCA clean製程設備/ 蝕刻機台/旋乾機 (Spin Dryer)/In-Line Heater /無塵室運送車/氣體鋼瓶儲存櫃 / 清洗設備 / 供酸系統 /化學管路配置 / 石英製品 / 零件開發製作 / 客製化改造及維修 / 粗糙度(Roughness)檢測設備 / 厚度檢測設備

  • 清洗設備及濕式蝕刻

    Etching /Cleaner Wet Station

    ◎清洗矽晶材料,藍寶石基材,切割清洗,研磨後清洗. ◎濕式蝕刻,濕製程清洗.
  • 零件清洗設備

    Parts Cleaner ◎石英管,晶舟,晶盒,金屬管,精密零件,光罩及其他晶圓週邊零件的清洗.

  • 氮氣儲存櫃及其他項目

    N2 Stocker / Others.

    ◎氮氣儲存櫃. ◎石英管運送車,晶盒運送車,運酸車,不銹鋼工作桌.