慧昱科技股份有限公司產品介紹
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清洗設備及濕式蝕刻
Etching /Cleaner Wet Station
● 氮化矽蝕刻晶圓清洗機 Nitride Etch Wet Station ● RCA 自動晶圓清洗工作站 RCA Auto-Clean Wet Station ● RCA 半自動晶圓清洗工作站 RCA Semi-Auto Clean Wet Station ● 12吋晶圓半自動蝕刻機 12" Semi-Auto Wet Etching Station ● 手動式酸鹼多槽、化學工作 Manual-Type Chemical, Organic Clean Bench ● 晶片與研磨盤分離機 -
零件清洗設備
Parts Cleaner
● 全自動零件清洗機 Auto Part's Cleaner ● 金屬光罩自動清洗機 Metal Mask Auto Cleaner ● 直式爐管清洗機 Vertical Quartz Tube Cleaner ● 水平式爐管清洗機 Horizontal Quartz Tube Cleaner -
氣體鋼瓶儲存櫃及其他項目
Gas cylinders Stocker / Others.
● Plastic 氮氣儲存櫃 Plastic N2 Stocker ● SUS 氮氣儲存櫃 SUS N2 Stocker ● 石英管運送車 Quartz Tube Transporter ● 晶盒運送車 Wafer Carrier Transporter ● 運酸車 Acid Transporter ● 不銹鋼工作桌 SUS Working Table